介绍一种新颖的全光型硅微机械流量传感器。给出该传感器结构及工作原理的理论分析，并阐述传感器样品的测试及结果。流量传感器具有......

在介绍一种新型微机械差动电容式压力传感器的基础上,重点介绍一种为其配套的电容—电压变换电路。并以实验结果反映其电路的优点......

从轻骨料混凝土的细观结构出发，将轻骨料混凝土看作是由砂浆基质、轻骨料以及它们之间的界面层组成的三相复合材料．用有限元方法研究......

利用机械和电学特性,推导出悬梁的位移与外加电压之间的关系,指出外加电压与扭臂厚度的3次方成正比,随上下电极之间距离的减小而降......

提出了一种由微机械谐振子驱动的可变平行板电容器产生两约瑟夫森电荷量子位的可控耦合的新方法,通过改变微机械谐振子的驱动频率......

擅要银纹化是颗粒增韧聚苯乙烯fPSJ的一种主要机制。在已有研究基础上，选取独立的弹性体颗粒单元，将空穴嵌入到基体材料中（空穴用圆孔......

通过对现阶段制造行业的发展现状进行分析时可以看出,蚀刻硅技术已经能够在实践中得到广泛应用,并且在其本身的作用下制造出来的微......

The current work models a weak(soft) interface between two elastic materials as containing a periodic array of micro-cra......

力平衡微机械真空传感器采用ｐ＾＋＋硅自停止腐蚀技术和硅／玻璃键合技术制作，为了保持参考腔处在高真空状态，使用非蒸散吸气剂来吸附参考腔中......